產(chǎn)品展示
BESTACE 5系列氣體質量流量計/控制器
【簡單介紹】
【詳細說明】
BESTACE 5系列氣體質量流量計及控制器,采用了316不銹鋼接液材質,具有高穩(wěn)定性、耐用性、低價位、小體積等優(yōu)點,被廣泛用于設備配套、過程控制、測試設備等場合。5系列產(chǎn)品采用了熱式測量原理,因此也具備熱式原理的高精度、高靈敏性、寬量程比等特點,且無需平方根修正。同時采取了毛細管取樣方式,具有極低的能耗。每臺設備出廠前都會按照客戶的氣體、量程,嚴格地按照NIST標準進行出廠校準,同時,比例調節(jié)閥嵌入在流體通道內,從而保證了精巧的體積。
技術參數(shù):
熱式原理
量程:流量計5SCCM~30SLPM;控制器5SCCM~20SLPM
材質:接液部位:316L不銹鋼
密封材質:標配氟橡膠(Viton);丁納橡膠(Buna)
泄漏率:不超過1×10 毫升/秒,氦氣
環(huán)境溫度及介質溫度:0-60℃
精度:1%FS(包括線性精度)
量程比:100:1
響應時間:1S
重復性:優(yōu)于0.15%FS
壓力極限:500PSIG
zui大壓降:流量計:250Pa
控制器:7-14KPa(500SCCM以下)
控制器:35KPa(500SCCM-20SLPM)
電源:24VDC@250mA(流量計)24VDC@350mA(控制器)
輸出:0-5VDC或4-20mA(此回路不可接入電源)
設定點信號:內置0-5VDC或外置0-5VDC(需去掉跳線)
電氣連接:9針D接口(9 Pin Sub D)
溫度影響系數(shù):優(yōu)于0.05%FS/℃
壓力影響系數(shù):優(yōu)于0.01%FS/PSI
標準溫度:21℃
標準壓力:760Torr
重量:流量計:440g 控制器:460g
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